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PECVD石墨舟

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佛山市钜盛石墨制品有限公司

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品牌:

钜盛石墨

型号:

PECVD石墨舟

关注度:

70

产品介绍

采用当下*有优势的高精密加工设备,配备专业工艺人员,保障使用中硅片表面不产生“彩片”


密度1.82g/cm³灰分50ppm
抗折强度51Mpa抗压强度115Mpa
颗粒度0.01mm电阻率12μΩ.m
肖氏硬度65HSD热膨胀系数(室温-600℃)5.8x10-6/℃
弹性模量12Gpa气孔率12%
进口提纯石墨参数

密度1.82g/cm³灰分50ppm
抗折强度58Mpa电阻率14μΩ.m



应用场景:单晶硅片沉积镀膜

优点

1.采用当下*有优势的高精密加工设备,配备专业工艺人员,保障使用中硅片表面不产生“彩片”。

2.采用提纯等静压石墨材料制作,杂质含量低,强度高。

3.陶瓷组装件采用99.9陶瓷,防腐蚀性能强,不易爆裂。

4.执行严格的全工序品质控制,保证每个配件的精度。

5.能完全匹配主流设备厂商的沉积炉型。


国产提纯石墨参数
密度1.82g/cm³灰分50ppm
抗折强度51Mpa抗压强度115Mpa
颗粒度0.01mm电阻率12μΩ.m
肖氏硬度65HSD热膨胀系数(室温-600℃)5.8x10-6/℃
弹性模量12Gpa气孔率12%
进口提纯石墨参数

密度1.82g/cm³灰分50ppm
抗折强度58Mpa电阻率14μΩ.m
颗粒度0.01mm气孔率8%
肖氏硬度65HSD



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