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半导体行业用高纯石墨毡
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四川骏瑞碳纤维材料有限公司
四川
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四川骏瑞
半导体行业用高纯石墨毡
310
四 川 骏 瑞 超 纯 硬 质 复 合 毡 技术指标 （Technical Specifications） | ||||
技术指标 | 单位 (Unit) | 测定环境温度 （℃) | 超高纯度固化毡 （S级） | |
(Technical Specifications) | ||||
密度(Volume Density) | g/cmᶟ | 20℃ | 0.15-0.30max | |
电阻率（Specific Resistance） | 纵向(Longitudinal) | Ω-mm | 20℃ | 2.0*10^-4 |
横向(Transverse) | Ω-mm | 20℃ | 3.5*10^-4 | |
抗压强度（5%形变） | 纵向(Longitudinal) | Mpa | 20℃ | 1.8 |
横向(Transverse) | Mpa | 20℃ | 1.3 | |
抗弯强度（5%形变） | 纵向(Longitudinal) | Mpa | 20℃ | 2.3 |
横向(Transverse) | Mpa | 20℃ | 1.8 | |
热膨胀率（Heat shrinkage rate ) | 10^-6 | 到3000℃ | 2.5±0.5 | |
吸水率（Water Absorption) （90%相对湿度下） | 重量% | 20℃ | <0.1% | |
碳含量(Carbon Content) | % | 25*℃ | ≥99.9 | |
表面处理（External surface treatment） | \ | \ | 1:贴石墨薄纸 2:贴碳纤维布 | |
四 川 骏 瑞 超 纯 软 毡 技术指标 （Technical Specifications） | |||
技术指标 | 单位(Unit) | 测定环境温度（℃） (Temperature) | 超高纯度石墨软毡(S级) |
（Technical Specifications) | (HighPurity Graphite felt) | ||
密度(Volume Density) | g/cmᶟ | 20℃ | 0.06-0.10max |
电阻率(Specific Resistance) | Ω-m | 20℃ | 6-9*10^-3 |
抗拉强度（5%形变） | MPA | 25℃ | 0.10-0.25 |
热收缩率（Heat shrinkage rate) | 10^-6 | 0-3000℃ | 2.5±0.5 |
吸水率（ Water Absorption) | 重量% | \ | <0.1% |
（90%相对湿度下) | |||
碳含量(Carbon Content) | % | 25℃ | ≥99.9 |
灰分含量(Ash Content) | PPM | 25℃ | ≤5PPM |
比热（Specific Heat）（平均数） | W.sec/(g-K) | 1400℃ | 1.72 |
升华温度(Sublimation Temperature) | ℃ | \ | 3600 |
平均导热系数(Thermal Conductivity) | w/(m-K) | 1400℃ | 真空：0.14 |
氩气：0.18 | |||
处理温度(Processing Temperature) | ℃ | \ | ≥2220 |
规格(Available Size) | MM | \ | 长度(Length)mm:3000-12000 |
宽度（Width)mm:1000-1400 | |||
厚度（Thickness)mm :3 -25 | |||
主要产品有各种真空烧结炉、热处理炉用炭毡、石墨毡、硬质复合毡及筒、单晶炉用石墨毡和保温筒、多晶炉用保温板、炭炭复合材料等。我公司占地30000余平方米，标准化厂房20000余平方米，形成年产各种碳素制品1000吨的生产能力，其产品能满足广大用户的各种需求。
