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>CVD@TaC涂层系列
CVD@TaC涂层系列
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湖南德智新材料股份有限公司
湖南
面议
湖南德智
113
• 基材：等静压石墨（厚度>0.5 mm）
• 涂层：TaC（厚度<300 μm）
晶圆制造
• 单晶生长
• 外延
• 精密加工（石墨）
• 低压化学气相沉积（LPCVD）
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SiC-SiC系列
Solid SiC系列
CVD@SiC涂层系列
T316
YB-FM-Te1
WL-BCP01
102593
略
硅石矿原矿
-
SD3001G迪耐特（Diomagnite）
HNBC-3000
