牌号/材质

TA1，TA2，TA3，TC4(Ti6Al4V)，GR1，GR2，GR5 (Ti6Al4V)

标准

钛圆靶：技术条件：符合TA1/TA2/TA3，ASTM B348-97，钛板靶：技术条件：符合GB/T3621-94，ASTM B265-93

规格

圆靶：常用规格：60/65/55/100 * 30/32/40/45mm；板靶：(8-25mm)* (150-300) mm * (1000-2500)mm；管靶：70mm * 7mm/10mm

表面

车光，可加螺纹

特性

重量轻，优异的抗腐蚀性，防腐性，强度高，耐热性好，延展性好，无毒性，无磁性，优良的机械性能等。

状态

退火态（M）热加工状态（R）冷加工状态（Y）退火，超声波探伤

应用

用于半导体分离器件、平面显示器、存储器电极薄膜、溅射镀膜、工件表面涂层，玻璃镀膜工业