（1）将钼粉和铌粉（纯度均为≥99 .95%，粒径分别为25μm和40μm）按照重量比为10:1的比例装入球磨机中，然后加入硬脂酸乙酯和氧化锆磨球（粒径1 .5mm），在氩气保护下进行球磨，所述的球磨时间为150min，球磨转速为800r/min，过筛，分离得到粒径为8μm钼铌合金复合粉末；

所述硬脂酸乙酯、氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0 .05、20倍；

（2）将步骤（1）钼铌合金复合粉末抽真空处理，接着进行冷等静压成型，冷等静压的压力为250MPa，保压时间为6min，得到压制毛坯；

（3）将压制毛坯在真空烧结炉中进行烧结成型，烧结温度为2200℃，烧结时间5 h，得到靶材毛坯；

（4）将靶材毛坯经过机械加工得到产品钼铌合金溅射靶材，钼铌合金溅射靶材为单一物相组织，组织均匀无孔洞，平均晶粒尺寸65μm，密度9 .86g/cm3。