金属颗粒的识别是清洁度分析的重要要求。近年来，金属颗粒的光学检测通常是通过光泽度进行的。根据实验室经验，我们发现光学显微镜分析通常会导致错误的分类，这可以通过使用扫描电镜和能谱（SEM+EDX）的检测方法进行材料分析，轻松避免金属颗粒的误识别。

光学显微镜与扫描电镜检测的原理是什么？

金属颗粒的光学显微镜检测是基于光反射进行的，包含亮点的颗粒被分类为金属杂质。在所有其他情况下，该颗粒被视为非金属杂质。在扫描电镜和能谱（SEM+EDX）的分析中，会测量颗粒的 X 射线光谱，从而识别其元素成分，实现精确的材料分类。

所有金属颗粒都会发光吗？

根据光反射原理的分析，要求滤膜上的金属颗粒要反光发亮。由于污染物颗粒在零件加工过程中暴露于液体、高温和摩擦环境中，因此它们的表面会因为腐蚀等原因而不反光，呈现暗色。这些金属颗粒在光学显微镜下，会被错误地分类为非金属颗粒。

在如下示例中，显示了三种颗粒（锌，钢和铝），这些颗粒通过光学显微镜确认为非金属。然而，通过扫描电镜和能谱（SEM+EDX）分析显示了这些颗粒的金属性质。

光学显微镜严重低估了金属颗粒的数量

下方案例显示了与 SEM+EDX 相比，光学显微镜分析存在重大误差。

由汽车供应商提供的同一片滤膜，分别进行了光学显微镜的颗粒分析以及 SEM+EDX 的测试分析。通过比较结果显示，光学显微镜检测的金属颗粒数，不到实际金属颗粒的 1/60。

Phenom ParticleX 全自动分析系统

金属颗粒可靠性检测，对于组件功能（例如电子零件）有至关重要的作用，因此，小编建议通过扫描电镜和能谱（SEM+EDX）的方法进行颗粒分析，ParticleX 全自动清洁度分析系统是一个理想的选择。而对于组件清洁的常规分析，通过光学显微镜检测的金属颗粒数仅供参考，颗粒总数是一个更值得信赖的参数。