一、引言
在显示面板、高端光学玻璃、建筑玻璃等领域,大尺寸材料的双折射与残余应力,直接影响产品光学性能、显示均匀性与结构可靠性。尤其是 LCD 行业第 5 代 + 补偿膜、大尺寸玻璃基板,传统检测设备存在扫描速度慢、行程不足、精度不足等痛点,难以满足规模化生产的检测需求。美国 Hinds Instruments 作为全球双折射测量技术的领军企业,其 Exicor® GEN 系列双折射测量系统,凭借大幅面行程、亚纳米级精度与高速扫描技术,成为大尺寸显示材料检测的首选设备,为显示面板、光学玻璃等行业提供核心技术支撑。
二、Exicor GEN 系列核心技术原理
Exicor® GEN 系列系统的核心优势,源于 Hinds Instruments 自主研发的 PEMLabs™光弹性调制器(PEM)技术与精密自动化运动控制技术。系统通过 PEM 对激光束进行 50kHz 高频偏振调制,调制光束穿透被测样品后,由 Signaloc™锁相放大器解调超低噪声信号,精准计算出双折射延迟量、快轴方向与残余应力,实现 0.001nm 级的超高测量精度。
针对大尺寸样品,系统采用专利高张力钢丝网载台设计,最大化样品可测量区域,同时大幅减少样品下垂与弯曲,保障大尺寸薄型材料的测量精度;可选配 Scan in Motion™(SIM)高速扫描技术,实现样品台移动与数据采集同步进行,无需停顿等待,最快仅需 12 分钟即可完成大尺寸样品的全域检测,大幅提升检测效率,适配产线批量检测需求。
三、核心结构与型号优势
Exicor® GEN 系列覆盖全场景大尺寸检测需求,核心结构设计适配不同行业应用:
大幅面行程设计:GEN5 系统标准可扫描区域达 1150mm×1375mm,支持扩展至更大尺寸,完美适配 LCD 行业第 5 代 + 补偿膜、大尺寸玻璃基板等超大样品的检测需求,同时兼容早期 generation 型号,可适配不同规格样品。
专利载台技术:采用高张力钢丝网载台,在支撑大尺寸薄型样品的同时,最大限度减少样品下垂与弯曲,保障全域测量精度,解决了大尺寸样品检测的核心痛点。
灵活定制化设计:支持定制舞台测量区域、定制波长(可见光、近红外)、定制软件与定制系统,可适配显示面板、商业窗玻璃、片材材料等不同行业、不同材料的专属检测需求。
多形态机型可选:提供卧式、立式等多种机型设计,适配不同生产场景与样品形态,同时支持双探头配置(如 GEN9.2X),进一步提升检测效率。
四、核心性能与技术优势
Exicor® GEN 系列以超高精度、大幅面行程、高速扫描为核心,性能指标全面领先行业:
亚纳米级超高精度:延迟分辨率达 0.001nm,重复性低至 ±0.008nm,角度分辨率 0.01°,可捕捉材料内部微纳级应力变化,满足显示面板、高端光学的严苛检测要求。
极致高速扫描能力:可选配 Scan in Motion™高速扫描技术,最高采样速率达 100 样本 / 秒,最快 12 分钟完成大尺寸样品全域检测,大幅提升产线检测效率。
全维度可视化分析:自动生成双轴晶格的 2D 和 3D 图形表示,直观呈现应力分布,支持厚度和翘曲度测量、应力估算计算(PSI),助力工艺优化与质量管控。
宽范围测量能力:延迟测量范围覆盖 0.005 到 300 纳米,测量斑点直径约 1 毫米原生,最低可至 100 微米,适配不同材料、不同厚度的检测需求。
稳定可靠的设计:无移动光学部件设计,测量过程中无需反复调整光学元件,从根源上提升测量准确性与长期稳定性,保障数据一致性。
五、行业应用场景
显示面板领域:核心应用于 LCD/OLED 行业第 5 代 + 补偿膜、玻璃基板的质量评估,精准检测材料内部应力分布,提升显示均匀性与产品可靠性,是全球顶尖面板厂商的核心检测设备。
光学玻璃领域:适配大尺寸光学玻璃、商业窗玻璃、建筑玻璃的双折射与应力检测,优化玻璃生产工艺,保障光学性能与结构稳定性。
新材料研发领域:支撑新型显示材料、光学薄膜、高分子材料的应力性能研发,为新材料配方优化、工艺改进提供数据支撑。
半导体与光学器件领域:适配大尺寸半导体基板、光学窗口等材料的应力检测,保障高端光学器件的性能与可靠性。
六、结语
美国 Hinds Instruments Exicor® GEN 系列双折射测量系统,以大幅面行程、亚纳米级精度、高速扫描技术三大核心优势,成为大尺寸显示材料、光学玻璃检测领域的标杆设备。无论是显示面板产线中的批量质量管控,还是新材料研发中的性能表征,该系列设备都能提供精准、高效、稳定的检测解决方案,助力企业提升产品质量、优化生产工艺,在高端显示与光学制造领域实现技术突破。
产品信息(结构化呈现,适配平台要求)
品牌:Hinds Instruments(美国)产品:Exicor® GEN 系列 双折射(应力)测量系统核心型号:GEN5、GEN6、GEN9.2X 等全系列核心参数:延迟分辨率 0.001nm,最高采样速率 100 样本 / 秒,标准行程 1150mm×1375mm,角度分辨率 0.01°核心功能:Scan in Motion™高速扫描、专利钢丝网载台、2D/3D 应力可视化、厚度翘曲度测量适用领域:LCD/OLED 显示面板、大尺寸玻璃基板、光学玻璃、新材料研发等
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