日本 NCC DTSP10-03 落尘计数器（附着粉尘测量仪）

在半导体、电子制造、精密光学等无尘室环境中，10μm 以上的粗大落尘 / 附着异物是导致产品不良的主要诱因。传统浮游粒子计数器无法有效捕捉这类沉降型粗颗粒。日本 NCC（株式会社エヌシーシー）推出的 DTSP10-03 落尘计数器，专为10μm～100μm 落尘分级计数设计，采用硅晶圆采样法，精准评估洁净室及设备内部的落尘污染水平，是异物不良溯源与洁净环境验证的关键设备。

一、核心技术参数

• 品牌：NCC（株式会社エヌシーシー，日本）

• 型号：DTSP10-03

• 测量对象：附着粉尘 / 落尘（非浮游尘）

• 最小可测粒径：10μm

• 标准粒径分级：10μm、30μm、50μm、100μm

• 自定义分级：11～99μm 范围内任意设定阈值

• 兼容晶圆尺寸：4 英寸（φ100mm）、2 英寸（φ50mm，可选）

• 最大测量面积：φ80mm（4 英寸）、φ30mm（2 英寸）

• 功能配置：Trimming 功能（有）、显示切换（分级独立显示）

• 输出方式：USB 连接 PC，专用软件实时显示 / 存储 / 导出数据

• 电源：AC100～240V 50/60Hz

• 尺寸 / 重量：主机约 280×220×450mm / 约 18kg

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二、核心工作原理

DTSP10-03 基于沉降采样法：将高平整硅晶圆（4 英寸 / 2 英寸）放置于待测区域（无尘室台面、设备内部、传送带表面等），暴露一定时间后，晶圆表面会自然吸附沉降的粗大粉尘。主机通过高精度光学扫描 + 图像识别算法，自动识别晶圆表面颗粒，按粒径分级计数并生成分布报告，精准反映落尘污染状况。

三、核心功能与特性

1. 粗颗粒精准分级计数专门针对10μm 以上落尘（传统浮游计数器盲区），标准 4 级分级 + 自定义阈值，精准匹配不同行业异物不良粒径特征，助力不良根因分析。

2. 灵活采样，适配复杂场景

• 晶圆可放入狭小空间（如设备腔体、高温炉内、运行中传送带），2 英寸晶圆专为狭窄区域设计；

• 采样位置无限制：只要能放置晶圆即可测量，覆盖无尘室、设备内部、包装环境等全场景。

3. 高效数据管理与追溯配套专用软件，实时显示颗粒分布图像、分级数量 / 浓度；自动存储历史数据，支持导出 Excel/CSV，便于长期趋势分析与质量追溯，满足 GMP/ISO 洁净环境验证要求。

4. 经济环保，晶圆可循环使用硅晶圆经专用工具清洁后可多次重复使用，大幅降低耗材成本；无化学试剂消耗，绿色环保。

5. 日本原装品质，稳定可靠NCC 多年洁净环境测量技术积淀，光学系统与图像算法成熟，抗环境光干扰，测量重复性好，适应 20～40℃、湿度≤80% RH 无尘室环境，长期运行故障率低。

   
   

四、核心优势

• 直击不良根源：精准测量导致产品缺陷的10μm 以上落尘，填补传统浮游计数器的测量空白，直接关联异物不良率。

• 全场景适配：可在任何可放置晶圆的位置采样，包括设备内部、高温区域、狭小腔体，实现无死角落尘评估。

• 数据精准可追溯：分级计数 + 图像留存 + 历史记录，满足洁净室日常监测、设备验证、供应商审核等合规需求。

• 低成本高效益：晶圆循环使用，无耗材依赖；操作简单，单人即可完成采样与测量，大幅提升洁净环境管理效率。

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五、典型应用场景

• 半导体行业：晶圆厂无尘室、光刻 / 刻蚀设备内部、封装测试区域落尘监测，异物不良溯源。

• 电子制造：SMT 车间、LCD/LED 生产线、精密电子组装环境，排查附着粉尘导致的短路 / 外观不良。

• 精密光学：镜头 / 镜片加工、镀膜车间、光学组件装配区，控制落尘引发的表面瑕疵。

• 医药 / 食品：无菌包装车间、药品生产洁净区，验证环境洁净度，降低异物污染风险。

• 精密加工：精密模具、航空零部件、医疗器械制造环境，评估设备内部与生产区域的落尘水平。