粉体行业在线展览
GC-TL
200-500万元
福建天利
GC-TL
2
5~30目
02超高纯度与超低析出,从源头保障洁净;03巨大比表面积与高表面活性,提供强大净化能力
树脂基活性炭/多孔碳
(半导体行业干湿电子化学品生产、5N~8级化学品净化)
1、采用酚醛树脂为原料,原料纯净,经过碳化活化后,成品灰分极低(甚至可降至ppm级别),几乎没有杂质离子残留。
2、酚醛树脂基体自身的高强度结构,具有极高的耐磨性和抗压强度,实现了真正的零粉尘脱落。
3、高比表面积,均一的纳米孔径,实现真正的高选择性“靶向吸附”,吸附容量和传质效率成倍提升。
4、表面负载含氧基团,使活性炭和有机分子之间π-π和键作用增强,提升其吸附能力。
可定制,BET比表面积≈1700,孔容≈0.8,平均孔径≈1.7nm,粒径5~30目,灰份<0.1%
在芯片制造的世界里,一粒微尘都可能是“巨石”,一次分子级的污染都可能导致整片晶圆的报废。随着工艺节点迈向3纳米、2纳米,半导体工业对生产环境的洁净要求已逼近物理极限,其中,空气中的分子级污染物(AMC)成为影响良率与产品可靠性的“隐形杀手”。
传统活性炭材料虽具吸附能力,但其孔径分布宽、均匀性差,且本身可能释放粉尘和金属离子,难以满足半导体厂房的纯净要求。面对这一挑战,福建天利通过对前驱体树脂的分子设计与精确可控的活化工艺,成功制备出高纯度树脂多孔碳。该材料具备三大核心优势,**契合半导体空气净化苛刻需求:
01孔径精准可控 实现分子级“靶向”吸附
福建天利高纯树脂基多孔碳材料可实现从微孔(<2nm)到大孔(>50nm)的精准孔径设计,能够针对半导体工艺中特定的AMC分子(如NH₃、SO₂、有机溶剂分子等)进行“定制化”吸附,吸附效率与容量远高于传统材料。
02超高纯度与超低析出,从源头保障洁净
材料以高纯度合成酚醛树脂为原料,从根本上避免了传统煤基/椰壳基活性炭可能引入的金属离子污染。其极高的机械强度,有效避免了运行过程中的粉尘析出,杜绝了二次污染的风险。
03巨大比表面积与高表面活性,提供强大净化能力
高达3200㎡/g的比表面积与经过优化的表面化学特性,为捕获和锁定污染物分子提供了海量的“陷阱位点”。其特有的高含氮官能团,更显著增强了对酸性气体等特定污染物的化学吸附能力。