粉体行业在线展览
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CXF-320/3001CV
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北京中科科仪股份有限公司
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kyky
CXF-320/3001CV
9
产品特点
高性能气体输送涡轮叶片
耐反应产物沉积结构与功能
丰富的配件与可扩展性
应用领域
光刻、物理气相沉积 PVD、化学气相沉积 CVD、离子刻蚀、平板显示、LED/OLED、等离子研究、粒子加速器
技术指标
进气口法兰 | DN320 ISO-F | 加热温度 | 60至70℃ |
排气口法兰 | KF40 | 抽速速率（L/s） | N2:2950 Ar:2750 He: 2300 H2:1100 |
压缩比 | N2:1E8 Ar:1E8 He: 1E4 H2:1E3 | 极限压强（Pa） | 1E-7（橡胶密封Rubber seal） |
**瞬时入口流量（sccm） | 2100 | 保护气入口法兰（选配） | KF10 |
推荐保护气体流量（sccm） | 50 | **允许磁场强度（mT） | 径向Radial：3 轴向 Axial：15 |
额定转速（RPM） | 21000 | 启动时间（min） | ≤9 |
停机时间（min） | ≤12 | 冷却方式 | 水冷 |
冷却水流量（L/min） | 3 | 冷却水温度（℃） | 20±5 |
电源电压（VAC） | 220±10%，50Hz 110±10%，60Hz | **功率（W） | 1500 |
适配电源型号 | CXFD-1601H | 建议前级泵（L/s） | ≥30 |
重量（kg） | 76 |
尺寸
产品特性
EM81
SBC-16
KYKY-EM69系列钨灯丝扫描电镜
DFF-63/80
DFF-100/300
DFF-400/300/50
ZQJ-3300
ZQJ-3900
CXF-250/2301G
CXF-200/1401CV
CXF-250/2301CV
CXF-320/3001CV
