一、Thyracont品牌核心优势

德国Thyracont成立于1970年，50余年专注真空测量技术创新，以高精度、耐用性及智能化为核心竞争力。其产品融合传统工艺与现代技术，例如首创的微型Pirani螺旋丝和宽量程组合传感器，已成为行业标准。

真空表优势：

•   具有16bar的超压稳定性，无需超压阀，节约成本

•   响应速度快，精度高

•   防护等级最高可达IP54

•   法兰处耐温度，高达160摄氏度

•   输出信号:4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet满足不同的控制系统连接

Ø  磁控溅射镀膜设备以及离子镀膜设备所需的超高真空度范围，thyracont的VSM冷阴极和VSH热阴极复合真空规

l  VSM 1000到5*E-9mbar（5*E-7Pa） 皮拉尼/冷阴极

1.   磁控溅射是一种物理气相沉积技术，利用磁场和电场约束电子，提高溅射效率。磁控溅射的工作过程，比如氩离子轰击靶材，溅射原子沉积到基片上形成薄膜。其中，在真空腔室（通常抽至1*E-5mbar(1*E-3Pa)量级）中通入氩气。

a)   通常会使用皮拉尼冷阴极复合规。

l  VSH 1000到5*E-10mbar（5*E-8Pa） 皮拉尼/热阴极

1.   离子镀膜设备是基于物理气相沉积（PVD）技术的高精度表面处理设备，通过等离子体环境中的离子轰击实现膜层沉积，广泛应用于工具、装饰、电子、光学等领域。

2.   磁控溅射需本底真空≤5×10⁻⁶ Torr（≈6.67×10⁻⁴ Pa）以避免油蒸气污染

3.   半导体/光学镀膜（如晶圆封装、滤光片）

a)   真空度：晶圆封装需<5×10⁻⁷ mbar（≈5×10⁻⁵ Pa），光学镀膜需<1×10⁻⁶ Pa

b)   目标：纳米级膜厚精度（±1%），避免气体吸附导致的光学损耗

c)   通常会使用皮拉尼热阴极复合规

各品牌产品对比