日本 ACCRETECH 东京精密 SURFCOM 1400G‑LCD 高精度表面粗糙度轮廓测量仪

一、产品概述

日本东京精密（ACCRETECH）SURFCOM 1400G‑LCD 是一款高精密工件移动式触针式一体化检测设备，专注于大尺寸基板、长行程试样的超高精度表面粗糙度、二维轮廓以及波纹度形貌检测。设备采用工作台移动、测头固定的核心结构设计，从根源消除长距离扫描过程中测头移动产生的振动干扰，保障超长扫描行程下依旧维持纳米级稳定测量精度。单次扫描便可一次性采集完整原始波形数据，同步输出粗糙度、波纹度、台阶高差、截面轮廓、翘曲形变等多项关键参数，运算算法完全契合 ISO、JIS、ASME 等国际测量标准。可用于半导体晶圆、精密陶瓷大板、光学玻璃、流延薄片等高要求工件的研发验证与严苛量产质控，是大面积精密板材高精度形貌检测的优选平台。

二、核心技术亮点

1. 工件移动式架构，长行程高精度稳定测量

   区别于传统测头移动机型，X 轴方向由工作台带动工件匀速行进，测头保持静止，大幅降低长距离扫描抖动偏差，即便大板长尺寸试样，依旧能够获得高重复性、高可靠性的轮廓与波纹度检测结果。

2. 低测力金刚石触针，高精度无损采样

   标配尖端半径 R2μm 金刚石测针，测量力低至 0.75 mN。兼顾超高采样灵敏度与工件保护性，可精准捕捉微观表面细微起伏，同时避免划伤抛光面、镀膜层等软质精密工件。

3. 粗糙度‑波纹度‑轮廓一次扫描多项目高精度评价

   单次扫描采集完整原始轮廓波形，支持 2RC、相位补偿 2RC、高斯等多种滤波器，精准分离粗糙度与波纹度信号；自动输出 Ra、Rz 等全套粗糙度指标，高精度解析台阶高差、翘曲轮廓、磨损截面积等二维形状数据。

4. 自动化测量流程，进一步降低人为引入测量误差

   支持示教编程，可设定多点位全自动连续检测，系统自动判定最优测量条件；测量、高精度运算分析、检测报表一键生成，有效提升大批量样品检测效率与数据一致性。

5. 原始波形完整留存，高精度数据可回溯重分析

   全程保存高精度原始轮廓数据，测量完成后无需重新扫描工件，即可灵活修改评价区间、滤波条件、基准补偿等参数，开展二次复盘分析，充分利用珍贵试样资源。

6. 花岗岩高刚性底座，隔绝振动保障高精度

   主机搭载高稳定性花岗岩工作台基座，刚性强、减振性能优异，可承载大尺寸、大重量基板，有效抵御外界振动干扰，保障设备长期重复测量精度。

7. 多语言系统，高精度检测报告通用性强

   操作软件支持多国语言，内置主流国际标准高精度算法，输出检测报告可直接用于出口品质管控。

8. 模块化选配拓展，覆盖多行业高精度检测需求

   按需选配异形专用测针、工件自动调平工装、隔振平台、三维粗糙度解析模块，适配半导体、光电、粉体新材料等各类工件高精度形貌检测。

三、详细技术参数表

四、适配被测工件

‑ 半导体晶圆、陶瓷静电吸盘基板

‑ 大尺寸液晶 / 光学玻璃基板 

‑ 氧化铝、氮化硅等精密陶瓷大板 

‑ 流延薄片、烧结板材、镀膜基板 

‑ 金属薄板、精密密封平面零部件

五、设备优势总结

东京精密 SURFCOM 1400G‑LCD 依托工作台移动式扫描设计，从结构层面保障长行程测量精度，有效规避大板检测时振动带来的数据偏差。一台设备即可高精度完成粗糙度、波纹度、二维轮廓三类检测项目；搭配自动化测量流程、完备的国际标准算法、原始波形回溯重分析功能，非常适合大面积基板高精度形貌质检，是半导体、光电基板、精密陶瓷、粉体新材料大板试样表面检测的综合性高性能精密测量设备。