1  产品概述

AF-μBF 是日本 JTEKT Thermo Systems 公司 AllFit 系列中“对应过热水蒸气的气氛箱式炉”，属于批次型（间歇式）高温热处理设备。该炉可在过热水蒸气气氛下进行最高 1000℃、常用 400～900℃ 的热处理，主要用于电子元件、陶瓷成型品及金属零件的脱脂（排胶）工序。

该设备最大的技术特点，是通过过热水蒸气对有机粘结剂的水解（加水分解）作用加速脱脂，相比传统纯氮气脱脂可显著缩短工艺周期、降低气体消耗；同时，过热水蒸气发生装置与炉体一体化设计使设备结构紧凑，适合实验室研发、试验开发至小批量生产使用。

2  厂商

JTEKT Thermo Systems（株式会社ジェイテクトサーモシステム）是日本 JTEKT（捷太格特）集团旗下的热处理设备制造商，长期面向电子元件、陶瓷、金属等行业的干燥、脱脂（排胶）、烧成、烧结等工艺提供各类热处理装置；其设备铭牌沿用 KOYO THERMO SYSTEMS CO., LTD.（光洋热处理系统）标识。AllFit 系列是 JTEKT Thermo Systems 针对过热水蒸气气氛开发的专用热处理装置系列，涵盖批次型（惰性气体烘箱、气氛箱式炉）与连续型（小型网带炉、网带炉等）多种炉型。

3  过热蒸汽热处理技术原理

3.1  什么是过热水蒸气

过热水蒸气是指在常压下对 100℃ 的饱和水蒸气进一步高温加热所得到的 H₂O 干气体（低氧状态）。其生成过程为：常温的水经加热变为湿热的饱和水蒸气，再经再加热变为干热的过热水蒸气。

3.2  过热蒸汽的工艺特性

根据 JTEKT Thermo Systems 官方资料，过热水蒸气用于热处理具有以下工艺特性：

加水分解作用：通过有机化合物与水的反应分解有机化合物，从而加速脱脂过程中粘结剂的分解；

比热更高：比加热空气的比热更高，在高于一定温度时干燥能力强，同时可获得辐射效果，实现更短时间内的均匀加热；

低氧气氛：为 100%H₂O 的干气体（低氧状态），可进行低氧气氛处理（参考值：残留氧浓度 20ppm 以下）；

冷凝热传热：通过冷凝热的传热性能非常高，有助于快速、均匀升温。

由于过热水蒸气能够缩短处理时间、降低工件热负荷，同时实现低氧处理，因此在电子元件（MLCC、LTCC、静电卡盘等）与陶瓷部件的脱脂（BBO，即粘合剂烧除）工艺中具有显著优势。

4  产品特点

（1）通过水解，可缩短处理时间并降低处理温度。过热水蒸气对有机粘结剂的水解反应加速脱脂，缩短工艺周期；

（2）可在过热蒸汽环境中进行高温处理。最高使用温度 1000℃，常用使用温度范围 400～900℃；

（3）经过防结露处理的专用设计。针对过热水蒸气气氛下的处理工况进行防结露专门设计；

（4）节能、降低运营成本。缩短处理时间可降低能耗与气体消耗；

（5）紧凑型一体化设计。过热水蒸气发生装置与炉体整合为一体，减少占地面积；

（6）可选监控与废气处理。可选配废气浓度检测装置（通过废气分析可视化粘结剂分解状态）及加热式废气处理装置（燃烧分解废气中粘结剂）。

JTEKT Thermo Systems 官方同时指出，设备配有高耐热性金属合金马弗，并针对过热水蒸气气氛采用防结露措施；处理时间缩短还有助于减少能量和气体消耗。

5  主要规格参数

6  技术效果与对比数据

6.1  处理品质对比：大气处理与过热水蒸气处理

在陶瓷成型品脱脂等场景中，JTEKT 官方展示的对比效果显示：采用大气处理时成型体表面易出现裂纹，而采用过热水蒸气处理后表面光滑无裂纹。其原因在于加水分解能够减少发热反应与气体的产生量，缓和对成型体的冲击、减少破裂；同时，相比氮气气氛，过热水蒸气处理能减少粘结剂碳化物的残留。

6.2  陶瓷成型品脱脂（BBO）：处理时间缩短

JTEKT 官方公开的对比示例显示，在陶瓷成型品脱脂（BBO）工艺中，过热水蒸气处理相比空气处理可将处理时间缩短 70%，同时削减 64% 的运作成本、减少 61% 的 CO₂ 排放量。

6.3  电子部品脱脂（BBO）：升温时间与低温化

在电子部品脱脂（BBO）工艺中，官方对比示例显示采用过热水蒸气可缩短脱脂时间、实现处理低温化（提高品质），升温时间降至原有工艺的 1/2 以下，同时削减 47% 的运作成本、减少 15% 的 CO₂ 排放量。

过热水蒸气处理效果对比数据汇总（JTEKT 官方公开示例值）

注：以上数值为 JTEKT Thermo Systems 在特定条件下展示的比较参考值，实际效果因处理材料、工艺条件等不同而有所差异。

7  适用领域与应用场景

根据 JTEKT Thermo Systems 官方产品资料，AF-μBF 的典型应用包括：

· 电子元件脱脂（例如 MLCC 多层陶瓷电容器、LTCC 低温共烧陶瓷）与 BBO（粘结剂烧除）；

· 陶瓷零件的脱脂（排胶）与粘结剂烧除；

· 金属零件的干燥与脱脂；

· 树脂的去除（树脂热解去除）；

· 其他用途：金属部品的表面处理（水蒸气处理、烤蓝）、树脂烧尽、各种洗净、从 CFRP 中回收碳纤维等。

该设备适配研发小试与小批量精密热处理场景，适合实验、开发至量产阶段使用。