真空式等离子处理系统CRF-VPO-2L-S

名称（Name）

真空式等离子处理系统

型号（Model）

CRF-VPO-2L-S

控制系统（Control system）

PLC+触摸屏

电源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz, 3kw

中频电源功率（RF Power）

1000W/40KHz

容量（Volume ）

10L(Option)

层数（Electrode of plies ）

2(Option)

腔体规格（Area）

220(W)*230(D)*230(H)

气体通道（Gas）

两路工作气体可选：Ar、N2、CF4、O2

产品概述

设备参数

产品特点

超大处理空间，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，精准的控制设备运行；

可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求；保养维修成本低，便于客户成本控制；

高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。

应用范围

真空等离子清洗机适用于印制线路板行业，半导体IC领域、硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业,航空工业等。印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污、软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗；硅胶、塑胶、聚合体领域硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。

等离子体为何在当代这么受欢迎呢

21世纪以来，随着科学技术和现代工业的快速发展，为满足各行业发展需求，各种功能的新材料层出不穷。与此同时，这也促使了各种表面改性技术的发展与进步。

等离子体表面改性是指将材料暴露在非聚合气等离子体中，通过等离子体轰击材料表面，使材料表面结构发生变化，从而实现活化改性。一般而言，功能层的表面改性非常薄(几纳米至数百纳米)，不会影响材料的整体性能；经过改性后，材料表面可具有亲水性、抗磨性、装饰性、着色性、印花性、粘接性、抗静电性等功能。

现等离子体技术用于纤维表面的改性也受到广泛的注意。等离子体处理碳纤维表面即能改善粘接性，又能保证纤维拉伸强度不下降。此外，等离子体处理还能消除碳纤维的表面微裂纹，减少应力集中，提高纤维本身的拉伸强度。等离子体处理Kevlar纤维、芳纶纤维同样效果显著。PET纤维应用广泛，但染色性、吸湿性、抗污性能差，经等离子体处理后，表面引入极性基团，产生自由基、交联层，有效改善各种性能。

电子元器件、汽车零部件等工业元件在生产过程中由于交叉污染、自然氧化、焊剂等，表面会形成各种污物，这些污染物会影响元件在后续生产中的焊接、粘接等相关工艺质量，降低成品可靠性和合格率。等离子体处理通过化学或物理作用对工件表面进行处理，反应气体电离产生高活性反应离子，与表面污染物发生化学反应进行清洁。需要根据污染物的化学成分对反应气体进行选择。以化学反应为主的等离子体清洗速度快，选择性好，对有机污染物清洗效果较好。表面反应以物理作用为主的等离子体清洗很常用的是采用氩气，不会产生氧化副产物，刻蚀作用各向异性。一般情况下等离子体表面改性过程中，化学反应和物理作用是共同存在的，从而得到较好的选择性、均匀性和方向性。

由于工业领域精密化、微小化的发展方向，等离子体表面改性技术以其精细清洁、无损改性的优势在半导体行业、芯片产业、航空航天等高新技术行业也会有越来越重要的应用价值。