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ASP-1300高精度四轴单面抛光设备

ASP-1300高精度四轴单面抛光设备

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奥美(郑州)智能设备有限责任公司

河南

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品牌:

奥美智能

型号:

ASP-1300高精度四轴单面抛光设备

关注度:

28

产品介绍

产品简介

该系列设备是高精度四轴单面抛光设备,可选配铜盘、锡盘、不锈钢盘等,适用于多种半导体材料的高精密抛光,满足大批量产业化需求。

特点
 强大的结构
- 4 工位独立气缸加压,对所有4个工位进行精确的压力控制
-C型铸造主框架
 自动陶瓷盘定位系统
- 侧定位块气缸,配合中心定位装置
 优化的操作软件
- 5步骤控制压力、转速和时间参数,循环阶段阶梯式压力控制
 冷却系统:大盘和压力板
- 提供**的DMP/CMP温度条件
- 运行时保持压板的平坦状态,确保产品高精度的TTV
 DMP车刀装置
- 自修自面,确保良好的盘面平面度
- 优秀的直线丝杠导轨
 CMP抛光垫清洗装置
- 确保抛光垫保持**的CMP条件

规格



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ASP-1300高精度四轴单面抛光设备

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