微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的专用工具，应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序。

高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘)，特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面积吸附, 同时也可作气浮平台，广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输，装置应用仅限用于平坦，无孔表面的工作平台。使用者通常是机器操作员。 在金属加工领域，这是一项安全可靠的工件传输。

自动化搬运、对象吸取、定位、精密网板印刷用工作台，利用孔洞透气性陶瓷(氧化铝或碳化硅)接上真空吸力，将工作物（包括晶圆、玻璃、PET 膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盘上，利用真空吸力使工作物固定，进行清洗、切割、研磨、网版印刷及其他加工程序。

加工对象：2、3、4、5、6、8、12英寸的半导体片。

吸盘类型：微孔陶瓷。

主要特点：平面度、平行度好，组织致密均匀、强度高、通透性好、吸附力均匀。