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PU22系列中流量高纯减压器
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上海洁安流体科技有限公司
上海
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洁安流体
PU22系列中流量高纯减压器
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结构特点 Features
i ◆ 金属膜片密封 ，提高产品的洁净度与泄漏率
◆ 流道内部电解抛光粗糙度：EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin
◆ 母体螺纹：1/2"JFS接头
◆ 内部容积：1.07in³
◆ ＊大流量：标准:30 SLPM,高流量 *HF:120 SLPM
◆ 设计验证压力：＊大额定压力的150%
◆ 设计爆炸压力：＊大额定压力的300%
◆ 100%出厂氦气测试
HPD210L半自动切换汇流排
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