表面清洁度分析仪器是一种借用特定测试技术来分析物体表面的清洁程度的仪器。通常测试设备分为接触式和非接触式。非接触式测量振动的方法（开尔文探针）的测试表面电势的变化. 由于在固体表面上的电晕放电下的充电，然后定量评价，例如可以判定金属基体材料的表面上的污染程度。

其他应用还有：

五金塑胶、橡胶、污垢管理；

镀铬钝化膜的管理；

DLC薄膜的质量管理；

各种材料带电性能的评价。