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三维光学轮廓测量仪

SuperView W1

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深圳市中图仪器股份有限公司

深圳

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

中图仪器

型号:

SuperView W1

关注度:

2654

应用行业:

汽车工业、半导体加工、精密加工、航空航天、国防军事、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、生物医学、MEMS、能源器件、微电子、信息存储、结构光学和通讯产品

产品介绍

SuperView W1三维光学轮廓测量仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量,还原出工件3D表面形貌宏微观信息,并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理,实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。

SuperView W1三维光学轮廓测量仪只需操作者装好被测工件,在检定软件上设定物镜倍率和测量模式后点击“开始”按钮,光学物镜会对工件表面进行自动对焦和非接触扫描,并按设定的位置进行测量,软件界面会实时扫描物体宏微观表面形貌;扫描结束后,操作者可通过分析工具对生成的3D形貌进行分析,得到如轮廓、厚度、粗糙度、体积等多种表面形貌测量分析数据。

该产品具有精度高、使用方便、功能强等优点,采用非接触式传感器扫描技术,用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析,它比传统的探针式轮廓仪操作更方便,测量精度更高。

由于采用非接触无损的测量方式,避免了对被测物体造成划痕和磨损,尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。

还能够对各种表面的工件和材料从宏观到微观的进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径、表面粗糙度等几何参数进行亚微米、纳米级测量和分析。

系统软件为简体中文操作系统,操作方便。


SuperView W1三维光学轮廓测量仪性能特点:

1)     使用白光干涉测量技术,非接触式、非破坏性、快速表面形貌测量与分析;

2)     台阶高度测量分辨率达0.1 nm

3)     可搭配黑白或彩色相机进行2D3D显示和测量功能;

4)     配置电动鼻轮,可同时挂载多种物镜并程序化控制切换使用;

5)     采用双光源模式,适应特殊样品测量;

6)     测量范围100×100mm(可按客户定制尺寸)

7)     配置低倍率物镜(2.5×和5×倍率),可进行大面积3D测量;

8)     提供多种表面参数测量功能,如断差高度、夹角、面积、体积、粗糙度、波纹度、薄膜厚度及平面度;

9)     提供超过250多种各类参数(含2D3D)计算;

10)   友好的人机界面,简便的图形化控制系统及3D图型显示;

11)   多种交换文件格式,可储存与读取多种3D轮廓文件格式;


SuperView W1三维光学轮廓测量仪应用:

SuperView W1三维光学轮廓测量仪广泛应用于汽车工业、半导体加工、精密加工、航空航天、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、生物医学MEMS能源器件、微电子、信息存储、结构光学和通讯产品等许多行业领域中。


各类光滑、连续光滑和适度粗糙物体表面从毫米到亚微米、纳米尺度3D形貌轮廓、坐标、厚度、粗糙度、体积、表面纹理等测量。


SuperView W1三维光学轮廓测量仪技术指标:

光源

白光LED;绿光LED

影像系统

1280×1024

普通物镜

1×2.5×5×10×20×50×100×150×

干涉物镜

5×10×20×50×100×

坡度

小于42º

物镜座

电控5孔物镜转盘

光学ZOOM

1×0.5×                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    

XY移动平台

测量范围:100×100mm(可根据客户需要定制)

精度:0.5µm

分辨率:0.01µm

负载:10kg

控制方式:自动

水平调整

手动调整,±4°

Z

移动范围:100mm

分辨率:0.01µm

PZT扫描

行程:100µm

分辨率:0.8nm

重复性:5nm

扫描速度:≤30µm/s

测量模式与精度

垂直扫描VSI

准确度(4.43µm台阶高):0.75%

重复性(4.43µm台阶高):0.1%

相移法扫描PSI

准确度(57nm台阶高):1.5%

重复性(57nm台阶高):0.3%

一般测量时间

(扫描范围10µm)

VSI10SPSI3S


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