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晶圆倒角机WGM-600
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北京科翰龙半导体装备科技有限公司
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北京科翰龙
晶圆倒角机WGM-600
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数控晶圆倒角机WGM-600/800为晶圆磨边、晶圆倒角的专用设备，利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工。适用于2″- 6″晶圆、4″- 8″晶圆
可加工T型、R型、RR型等多种边形的晶圆
按照设定参数数控自动倒角加工
可加工参考边型晶圆及圆片
自动进行粗研及精研加工
可加工方片等异形晶圆
可自动检测晶圆直径
配备晶圆清洗功能
配备晶圆干燥功能
