其它辅助设备-TC Wafer/RTD Wafer温度传感器-西安和其光电科技股份有限公司-产品详情

TC Wafer/RTD Wafer温度传感器

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西安和其光电科技股份有限公司

陕西

产品规格型号

参考报价：

面议

品牌：

和其光电

型号：

TC Wafer/RTD Wafer温度传感器

关注度：

202

产品介绍

产品概述

TC Wafer/RTD Wafer直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之间的温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整片晶圆温度分布；同时也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化，例如：升温，降温过程及延迟周期等。

功能特点

测温精度高温区自动生成

安装便捷高可靠性

性能参数

产品咨询

TC Wafer/RTD Wafer温度传感器

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