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>扩散氧化炉.
扩散氧化炉.
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湖南烁科热工智能装备有限公司
湖南
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四十八研究所
2568
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件
和光导纤维等行业的扩散，氧化，退火、合金和烧结等工艺。水平管式炉的设计考虑了硅片生产的多种工艺性能
需要，具有**生产能力和优越的性能指标。
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