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>8”立式炉
M51200-1/UM
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湖南烁科热工智能装备有限公司
湖南
面议
2152
设备型号：M51200-1/UM
主要用于半导体器件制程中的掺杂、氧化、推阱、退火、合金、薄膜沉积等工艺。
技术参数：
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