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JSSD系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
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南京晶升装备股份有限公司
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南京晶升
JSSD系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
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◆ 设备采用模块化结构设计，可方便切换晶体生长尺寸和石英腔室冷却方式；
◆ 全金属密封结构可以降低漏率；
◆ 旋转液动力的冷却方式提升了冷却均匀性；
◆ 高精度控温控压及远程监控技术进一步提升了设备自动化程度。
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