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SCG300系列半导体级单晶硅炉
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南京晶升装备股份有限公司
江苏
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南京晶升
SCG300系列半导体级单晶硅炉
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◆ 设备具有高稳定性、高真空度、高可靠性的结构设计；
◆ 配备自主研发的功率控制、锁拉速等生长控制算法；
◆ 热场系统具有高水平微缺陷控制能力；
◆ 配合水冷套、超导磁场及基础工艺包；
◆ 生长晶体可满足COP-FREE硅片指标要求。
集成电路刻蚀用硅材料长晶炉MSIR1050系列
氮化铝原料提纯炉ANET920系列
碳化硅原料合成炉 HC-SCET1000系列
蓝宝石单晶炉SET300系列
蓝宝石单晶炉SET280系列
SCMP/LP系列TSSG法碳化硅单晶炉
电阻加热PVT SCR950系列碳化硅单晶炉
SCMP系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
SCET420系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
JSSD系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
SCG400系列半导体级单晶硅炉
SCG300系列半导体级单晶硅炉
HTRH，HTRV
略
驰顺TF-1200型旋转管式炉
开启式管式炉
RLY系列燃油热风炉
OTL1200、KTL1400、KTL1600、KTL1700
RLY 系列
ZHK-B02123K-200
OTF-1200X-25-60
略
YCVD-1706
