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科研型扩散炉
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青岛华旗科技有限公司
山东
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华旗科技
173
产品性能:
2~12寸晶圆工艺,5~25片/批
占地面积小,水平多管/垂直单管
200~1300℃/1400℃/2200℃(高温)
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