本设备主要用于半导体行业。设备 加热区域采用三段温区独立控制， 工作温度区间为500~800℃,加热 元件为电阻丝加热。炉管尺寸为φ 220*1300,采用N 型热电偶测温。

 炉架为整个炉体和炉管等部分提供支撑。整体采用方管焊接而成，保证足够的强度，长时 间不变形，整体高约1.4m, 长1.整个炉体安装中有防震要求，严格控制退火过程的震动；

加热单元：加热元件采用电阻丝加热；

保温层为优质高纯氧化铝多晶纤维材质，采用日本进口真空吸附成型技术固化成型；

 整个炉体由多个加热单元拼接而成，共分成3个控温区；控温热电偶丝用头部带凹槽的陶瓷保护管，可保护热电偶头部.共3个加热单元3根控温 热电偶；

控温采用欧陆2604控温模块；

炉架上放置炉体，炉壳，石英管等设备。55m, 宽0.75m,  外观简洁美观；炉壳为长方体结构，主体结构采用方管焊接而成，保证整个炉体有足够的强度，炉壳 四周装有封板，外观简洁美观；

整个炉体安装中有防震要求，严格控制退火过程的震动。