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高真空管式炉
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青岛育豪微电子设备有限公司
山东
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育豪微电子
高真空管式炉
1326
设备性能指标 | ||
1 | 工位数 | 1-2管（可依据实际生产工艺设计） |
2 | 额定温度 | 900℃ |
3 | 工艺温度 | 500℃-800℃ |
4 | 加热温区段 | 3-5段独立控温，（可依据实际生产工艺设计） |
5 | 系统极限真空度 | ≤5*10-4Pa |
RLY 系列
HTRH，HTRV
管式炉
驰顺TF-1200型旋转管式炉
RTO蓄热式焚烧炉
连续式石墨化炉
OTL1200、KTL1400、KTL1600、KTL1700
OTF-1200X-25-60
略
ZHK-B02123K-200
TCGKD203-11/TCGKD204-11/TCGKD415-12TCGKD412-12/TCGKD410-12/T
YCVD-1706
