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提纯设备(蒸馏,精馏,升华,区熔)
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青岛育豪微电子设备有限公司
山东
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75
化合物晶体材料设备主要应用于:GaAs砷化镓、InP磷化铟、等III-V 族化合物晶体材料的生长、合成、脱氧等工艺,可实现 VGF/VB 工艺联合生长,晶体生长尺寸:2-6英寸。
单质晶体材料设备主要应用于高纯锌、镉、锑、碲、铟、锡、锗、镓等相关半导体材料的提纯、蒸馏、精馏、升华区熔等工艺。
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