采用感应/电阻式加热方式，在不锈钢腔体内以液相法生长SiC晶体，并可兼容物理气相法(PVT)。

可提供半定制化服务

6 ~ 8英寸 碳化硅长晶炉 (感应式/电阻式） 

晶体尺寸 6 ~ 8英寸 

工艺 LPE 

加热方式 感应式/电阻式 

基本参数 主机尺寸 W1450 x D1450 x H3900mm 

整机重量 约2.2T 

支持系统 电     源 容    量 50kVA（感应式）/ 280kVA（电阻式） 

电    压 380VAC±10% ,  3P,  50/60Hz 

冷 却 水 压    力 0.3 ~ 0.5MPa 

流    量 ＞200L/min 

工艺气体 压    力 ＞0.2MPa 

压缩空气 压    力 0.5~1.0MPa