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单腔立式外延炉

单腔立式外延炉

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杭州晶驰机电科技有限公司

浙江

产品规格型号
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面议

品牌：

杭州晶驰

型号：

单腔立式外延炉

关注度：

342

产品介绍

产品详情

       1、相较现有立式外延炉有更低的硬件成本,更小的占地面积;

   

       2、兼容4/6寸晶圆外延生长,成膜质量好,可实现厚外延层快速生长；

   

       3、更长的维护周期,更低的耗材成本；


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