碳化硅单晶生长炉

产品优势

高度自动化程序，减少人工操作

能灵活改动温场，满足晶体长大、长快、长厚要求

内置感应线圈，提高耦合效率，更低能耗

金属真空腔室，更安全耐用

产品概述

天科合达目前已经开发出了第五代SiC单晶生长炉，该生长炉为我司自主研发设计制造。炉体采用单室立式双层水冷不锈钢结构，炉子整体结构由真空系统、感应加热、压力控制和提拉控制四部分控制体系组成。经过不断的升级迭代，第五代单晶炉在性能已成功达到国外同类水平，成本相比仅有其1/4。

主要优势有：

1、高度的自动化程序，无需人工操作

2、使用内置感应线圈，提高了耦合效率和电能利用率，能耗更低

3、能灵活改动温场，满足碳化硅晶体长大、长快、长厚的需求

4、金属真空室更安全耐用

下游产品与应用

单晶生长炉是生长碳化硅单晶材料的重要设备，为公司、高校和科研院所在研究和生产制备碳化硅单晶晶体、研发长晶工艺中，提供高精度的设备支撑。公司为此还提供优质的籽晶、粉料和长晶方面的技术支持。