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>立式真空扩散炉
立式真空扩散炉
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青岛育豪微电子设备有限公司
山东
面议
育豪微电子
128
设备性能指标
1
操作方式
立式
2
管路数
1管
3
加工晶圆尺寸
6-12寸
4
适用工艺
扩散(镓扩)、玻璃钝化(GPP)、退火、合金
5
温度校准功能
具有自动校准温区功能,具有预先写入偏差值快速拉温区功能(选配)
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