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液相法晶体生长炉
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山东晶升电子科技有限公司
山东
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晶升电子
186
简介 : 1.结构紧凑,可采用并排布局,提高厂房利用率。 2.可兼容电阻或感应加热热场。 3.可配备多个加热器独立控制,工艺调试窗口大,便于同时控制轴向和径向温度梯度。 4.底部水冷坩埚轴带有中空测温孔,顶、底、侧均可配红外测温,便于温场监控和工艺调试。 5.可选恒功率、恒电流、恒温工作模式。 6.满足6-8寸半绝缘/导电晶体生长需求。
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