MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。

产品特点

精准质量流量测量/控制

快速响应、高重复性

不受温度和压力的影响

工作压差范围大：0-1MPa

低压损可选

全金属比例阀可选

集成显示器可选

经济有效的解决方案