腔体材质

304不锈钢

上盖开启

铰链侧开

加热台材质

304不锈钢

内腔体尺寸

$160x90mm

观察窗尺寸

Ф70mm

加热台尺寸

$55×55mm

观察窗热台间距

75mm

加热台温度

-190°C-400°C

加热台温控误差

士1°C

样品台变温速率

高温20°C/min

低温20°C/min **值

温度显示

7寸人机界面

真空度

机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

允许正压

≤0.1MPa

真空抽气口

Kf25真空法兰

气体进气口

3mm-6mm卡套接头

电学性能

绝缘电阻 ≥4000M2

介质耐压 ≤500V 漏电流 ≤-10次方安培

探针数量

4探针（可选购5探针）

探针材质

镀金钨针

探针尖

10um/50um

X轴移动行程

30mm +15mm

X轴控制精度

≤0.01mm

Y轴移动行程

13mm 土12.5mm

Y轴控制精度

≤0.01mm

Z轴移动行程

13mm ‡12.5mm

Z轴控制精度

≤0.01mm

标配

1台真空探针台KT-Z1604T-RL、1台触摸屏温控箱、1根电源线、

1根触摸屏笔、1根功率输出线、1套K型上盖扳手、备用螺丝，内六角、

选配

分子泵机组 机械泵 CCD相机 真空计 气浮台源表