前级泵

双极旋片真空泵（对真空环境要求洁净的客户可选配无油干泵）

前级泵抽气速率

2.2L/S

前级泵极限压强

≤5Pa

分子泵

FF-100/150 51000转/分

分子泵抽气速率

150L/S

分子泵启动时间

≤2min

空载极限压强

≤5E-5Pa

真空测量方式

电阻真空计+冷阴极规管

真空测量范围

1E5到1E-5 Pa

真空测量精度

3E3~1E5 Pa

读数的士50% 5E-1~3E3 Pa

读数的士25%

5E-2~5E-1 Pa

读数的士35%

5E-5~1E-2 Pa

读数的士50%

抽气接口

Kf25 /KF40

阀门类型

Kf40手动挡板阀

系统电源

AC220V

系统功率

1.2KW

环境溫度

5~32°C

冷却方式

强制风冷却

湿度

≤80%

噪音

＜60分贝

外形尺寸

300X465X560mm

重量

约45KG

标配

1台分子泵机组KT-150YCF主机、电源线、合格证、说明书、保修卡各一个