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Nwport高性能中档行程线性平移台

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森泉光电有限公司

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产品介绍

高性能中档行程线性平移台

产品介绍:

ILS 系列是坚固耐用的亚微米分辨率线性平移台,采用轻巧、坚硬的铝制机身和可靠的组件,适用于高占空比的应用。

  • 刚性,FEM 优化的挤压铝制机身,可防止热弯曲效应

  • 预加载,无间隙滚珠丝杠传动可实现快速移动,步进时间和稳定时间较短

  • 精密循环滚珠轴承滑块可实现精确的线性运动,防止出现滚珠轴承罩移位

  • 50-250mm 的行程

  • 轻工业应用中长期使用的理想选择

  • 即插即用 - ESP 兼容

技术参数:

型号ILS50CC

ILS150CC

行程范围50 mm150 mm
* da速度 1100 mm/s100 mm/s
*小位移增量1000 nm1000 nm
中心负载250 N250 N
轴向负载 (+Cx)40 N40 N
逆轴向负载 (-Cx)-40 N-40 N
精度,典型值±0.6 μm±1.5 μm
精度,保证值±1.5 μm±2.5 μm
单向重复精度,典型值±0.20 μm±0.25 μm
单向重复精度,保证值±0.50 μm±0.50 μm
双向重复精度,典型值±0.40 μm±0.45 μm
双向重复精度,保证值±1.0 μm±1.0 μm
俯仰,典型值±15 μrad±37 μrad
俯仰,保证值±25 μrad±75 μrad
俯仰顺应性10 μrad/Nm10 μrad/Nm
偏摆,典型值±12 μrad±20 μrad
偏摆,保证值±25 μrad±65 μrad
偏摆顺应性10 μrad/Nm10 μrad/Nm
滚转顺应性15 μrad/Nm15 μrad/Nm
原点重复精度±0.5 μm±0.5 μm
电缆长度3 m3 m
螺纹类型 21/4-201/4-20
重量4.2 kg4.8 kg
MTBF20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHSCompliantCompliant
Notes:

Also available in ILS-CCL versions.

  1. Max speed is reduced to 50mm/sec for ILS-CCL versions

  2. Also available in a metric M- version.

产品特征:

FEM - 优化的铝制机身

优化的铝制机身可实现极高的刚性,以及在不影响重量的情况下*小化双金属弯曲。坚固的机身减少了负载下的偏移。

集成编码器

4000 pts/rev 的编码器直接安装在螺杆上,这样可防止出现螺杆/电机耦合误差,从而提高平移台运动精度。HA 版本具有 0.3 μm MIM 的集成线性标度。

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Nwport高性能中档行程线性平移台

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