■ 技术参数

- 放大倍率 : 30x ~ 100，000x 分辨率5nm

- 加速电压 : 5 ~ 30kV (5/10/15/20/30kV - 5 step)

■ 规格

- 样品移动距离

: X: 20 mm， Y: 20 mm，

Rotation : 360°

Tilt : 0~45°， Z : 0~30 mm

- **样品尺寸 : 直径80mm

- **样品厚度 : 35mm

■ 系统结构

- 电子枪: 预对准钨灯丝

- 检测系统 : 二次电子探测器

- 真空泵：

旋转式真空泵100L/min

涡轮分子泵80L/S

■ 设备主要构成

- 笔记本电脑 1台

- 电子扫描显微镜主体一台

- 灯丝5个

- 载物台 15mm dia (10pcs/set)

25mm dia (5pcs/set)

15mm 45°tilt(5pcs/set)

15mm 90°tilt(5pcs/set)