■技术参数

分辨率：20nm(30kv，BSE Image)

- 放大倍率:30x ~ 30，000x

- 加速电压:5 ~ 30kV (5/10/15/20/30kV - 5 step)

■图像

背散射电子图像（BSEI），适用于非导体样品

■规格

- 样品移动距离

: X: 20mm， Y: 20mm，

Rotation : 360°

- **样品尺寸: 直径50mm

-**样品厚度: 20mm

■系统结构

- 电子枪: 预对准钨灯丝

背散射电子图像

- 真空泵：

旋转式真空泵100L/min

涡轮分子泵80L/S

抽真空时间2分钟内

■设备主要构成

- 笔记本电脑1台

- 电子扫描显微镜主体一台

- 灯丝5个

- 载物台15mmdia (10pcs/set)

25mmdia (5pcs/set)

15mm45°tilt(5pcs/set)

15mm90°tilt(5pcs/set)