仪器简介：

• 化学分析用全自动扫描X-射线光电子能谱仪

• 180°半球型电子高分辨率能量分析器以及适用于小面积分析的大角度电子接受系统

• ****的32通道检测器和快捷的电子系统用于获得**的灵敏度和数据采集

• 扫描单色聚焦9umX射线源用于快速化学状态图像

• 自动双束荷电(电子束和低能Ar离子束)补偿系统

送

• 全自动5轴(X， Y， Z， 旋转，倾斜)，精密样品台 样品台可以准确地移动到100mm直径样品的任何一点

• 计算机控制的100 V到0. 5 kV氩离子枪用于样品表面清洗以及深度剖面分析（包括Zalar Rotation功能）.

• 在做角分辨XPS分析时候可以自动选择大小接受角度

• 具有所有分析功能包括低分辨全范围定性分析， 高分辨定量/化学状态分析， 深度剖面分析，线扫描分析， 化学状态图像分析，自动分析和用户自己设定分析。

• PC 计算机RAM为1 Gb，硬盘为160 Gb， 软盘， 可读写CD 以及彩色显示器

• 数据处理功能强，如去除本地，平滑化处理， 峰识别， *小二乘法拟合， 多因子分析法，峰分离，从图像，线扫描以及深度剖析分析中抽出多种化学状态峰

• UHV可兼容不锈钢分析室

• 360 l/s离子本泵（带有钛升华泵），自动烘烤系统

• 操作说明书和维修手册，工具箱.

• 软件MS Office Professional (英语版).

• 操作用椅

• 操作桌子

• 打印机

注: Ulvac-phi将不提供喷墨打印机但是在出厂前将通知所用喷墨打印机型号。

技术参数：

聚焦扫描式微区X射线光电子能谱仪

技术资料

设备规格以及供货范围

A. 技术指标

B. 安装设置要求

C. 供货范围

设备型号 PHI Quantera SXM

设备商标Scanning X-ray Microprobe™

生产地点 日本和美国

检测项目 指标值

系统到达真空 <5x10-10 torr

Ag样品XPS光电子能量分辨率 Ag 3d 5/2 峰半高宽 FWHM < 0.50 eV

PET 样品XPS光电子能量分辨率 C1s的O=C-O峰半高宽 FWHM < 0.85 eV

*小X射线斑束 <9.0μm 在x 方向

<9.0μm 在y 方向

常用X射线斑束

<10.0 μm @ <1.25 watts

<15.0 μm @ <2.50 watts

<20.0 μm @ <4.50 watts

X-ray XPS灵敏度和能量分辨率 X-ray Beam Energy Sens. Size Res.

> 15kcps <10.0 μm <0.60 eV

> 30kcps <15.0 μm <0.60 eV

> 55kcps <20.0 μm <0.60 eV

> 35kcps <10.0 μm <1.00 eV

> 70kcps <15.0 μm <1.00 eV

> 125kcps <20.0 μm <1.00 eV

>3Mcps High <1.30eV Power Mode

离子枪 **电流 >5.0 μA @ 5 kV

离子枪工作时候分析室内压力 < 5x10-8 torr

主要特点：

B: 供货范围

PHI Quantera SXM Scanning XPS Microprobe

化学分析用全自动扫描X-射线光电子能谱仪

• 扫描单色聚焦9umX射线源用于快速化学状态图像

• ****全自动快速进样系统 75mm方形样品台，自动数码照相定位系统，自动样品台进样和传