特征概览:

• 新设计的离子源使污染*小化，从而延长其使用寿命和提供更清楚的讯号
• 新型电子倍增器在PVD工艺压强下提供更快速，清晰的数据收集和免除法拉第杯和电子倍增器的转换，使数据一致性。
• 新型加长的四极杆场可提高低质量范围的过滤能力，提高质谱仪分辨同位素的灵敏度，及改善对氢的检测灵敏度
• 内置压力传感器（CDG），用于工艺压强监测和提供联锁保护，有效延长灯丝使用寿命

应用：

• 高压强真空系统（< 20毫乇）检漏，气体纯度，污染检测及制程工艺监控，涉及领域：传统高压强真空系统，半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD系统