特征概览:

• 用于监测复杂工艺制程四极质谱分析仪系统，检测范围：0-100，0-200和0-300amu
• 允许7天24小时连续监控，提高产品良率及产能，降低生产成本
• 紧凑型设计可安装于每个高压强真空系统
• HexBlock ^TM 取样系统使系统性能**化
• 内置压力传感器（CDG），用于工艺压强监测和提供联锁保护
• 备用可选的标准气体，用于调谐和校正
• 封闭式离子源可阻挡腐蚀性气体和反应性气体，并可检测ppm量级的污染物
• 重量轻，易搬运

应用：

• 高压强真空系统（< 2个大气压）检漏，气体纯度，污染检测，工艺制程监控及刻蚀终点探测 （Endpoint），涉及领域：材料，传统高压强真空系统，半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀系统