特征概览:

• 等离子体频率400M Hz， 光波长范围：190-890 纳米
• 易更换等离子体组件，低的运行维护费
• KF25 标准连接口
• 良好的探测精度至ppm级
• 宽工作压力范围：10毫乇至1乇，无需泵组
• 快速采样频率24赫兹
• 小巧，易安装

应用：

• 用于半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD，CVD及刻蚀腔体检漏，气体组份比率及等离子体刻蚀终点探测（Endpoint）。