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Pfeiffer普发涡轮分子泵组
Hicube 系列移动式真空泵组在业界设立了新的标准:**系列的HiPace涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列**结合。 Hicube 真空泵组系列主要分为Hicube ECO(经济型)、Hicube Classic、Hicube Pro三种真空泵组。真空泵组可选择干泵或旋片泵作为前级泵,极限真空度可达 5 * 10-10mbar。针对特别有限的空间要求,Hicube 真空泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的 HicubeEco经济型泵组,其抽速范围从 35 l/s 至 67 l/s。
根据HiPace 涡轮分子泵选择的不同,HiCube真空泵组还可以分为HiCube 80真空泵组系列、HiCube 300真空泵组系列、HiCube 400真空泵组系列、HiCube 700真空泵组系列。
优势:
涡轮分子泵和前级泵的**结合;适合多种应用需求;
模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求;各部件配合简便,易于保养维修;
集成的驱动系统,无需额外的控制系统;“即插即用”-无需布线和安装;
意外断电时,前级真空安全阀(可选.)可保护真空腔体免受返流影响;
可以直接连接真空计
Pfeiffer Hicube真空泵组产品分类:
德国普发 Pfeiffer Hicube ECO真空泵:紧凑的设计和高性能使得Hicube ECO真空泵组为许多应用提供了理想的解决方案;适用于所有的高真空应用;配备了HiPace 80 涡轮分子泵和MVP 015干式隔膜前级泵;
德国普发 Pfeiffer HiCube Classic 真空泵组:适用于所有的高真空和超高真空应用;抽速高达685 l/s,可配备干泵和油封前级真空泵。可选择抽速高达4.3 m3/h的干式隔膜前级泵或抽速高达6 m3/h的旋片泵作为前级真空泵;
德国普发 Pfeiffer HiCube Pro 真空泵组:适用于所有的高真空应用;抽速高达685 l/s,可配备干泵和油封前级泵;它的特性是具有极高的抽速;可选择PentaLine旋片泵和ACP多级罗茨泵作为前级泵;
以上真空泵组 Hicube ECO(经济型)、Hicube Classic、Hicube Pro均可按客户需要选配显示控制单元。
参数 型号 | 连接法兰 | 抽速L/S | 极限真空mbar | 前级泵抽速m3/h | ||||||||||
入口 | N2 | |||||||||||||
Hicube 80 Eco | KF40 | 35 | 10-7 | 15L/min | ||||||||||
Hicube 80 Eco | ISO-K 63 | 67 | 10-7 | 15/min | ||||||||||
Hicube 80 Eco | CF63 | 67 | 10-7 | 15L/min | ||||||||||
Classic | 法兰连接 | 抽速L/S | 极限真空mbar | 前级泵抽速m3/h | ||||||||||
入口 | N2 | MVP040 | MVP070 | DUO 3 | DUO5M | MVP040 | MVP070 | DUO 3 | DUO5M | |||||
Hicube 80 Classic | KF40 | 35 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 80 Classic | ISO-K 63 | 67 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | ||||
Hicube 80 Classic | CF63 | 67 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 300 Classic | ISO-K100 | 260 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 300 Classic | CF100 | 260 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | ||||
Hicube 400 Classic | ISO-K100 | 355 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 400 Classic | CF100 | 355 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | ||||
Hicube 700 Classic | ISO-K160 | 685 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 700 Classic | CF160 | 685 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | ||||
Pro | 法兰连接 | 抽速L/S | 极限真空mbar | 前级泵抽速m3/h | ||||||||||
入口 | N2 | ACP | Duo | Pascal | ACP | Duo | Pascal | |||||||
Hicube 80 Pro | KF40 | 35 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 80 Pro | ISO-K 63 | 67 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 80 Pro | CF63 | 67 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 300 Pro | ISO-K100 | 260 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 300 Pro | CF100 | 260 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 400 Pro | ISO-K100 | 355 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 400 Pro | CF100 | 355 |