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HON-He/Ar/Ne/Xe-X系列惰性气体纯化器
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大连科立恩气体净化科技有限公司
辽宁
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科立恩
HON-He/Ar/Ne/Xe-X系列惰性气体纯化器
12
系列 Series | 杂质 Impurity | 入口 Inlet（ppm） | 出口 Outlet（ppb） |
HON- He/Ar/Ne/Xe -X | O2 | ＜3 | ＜1 |
N2 | ＜1 | ＜1 | |
H2 | ＜1 | ＜1 | |
CO | ＜1 | ＜1 | |
CO2 | ＜1 | ＜1 | |
THC | ＜1 | ＜1 | |
H2O | ＜3 | ＜1 | |
PARTICLES | -- | ≤10pcs/m3, 0.003μm | |
Pressure Drop | ＜1bar | ||
Flow | 10～500Nm3/h | ||
系列 Series | 杂质 Impurity | 入口 Inlet（ppm） | 出口 Outlet（ppb） |
HON- He/Ar/Ne/Xe -X | O2 | ＜3 | ＜1 |
N2 | ＜1 | ＜1 | |
H2 | ＜1 | ＜1 | |
CO | ＜1 | ＜1 | |
CO2 | ＜1 | ＜1 | |
THC | ＜1 | ＜1 | |
H2O | ＜3 | ＜1 | |
PARTICLES | -- | ≤10pcs/m3, 0.003μm | |
Pressure Drop | ＜1bar | ||
Flow | 10～500Nm3/h | ||
系列 Series | 杂质 Impurity | 入口 Inlet（ppm） | 出口 Outlet（ppb） |
HON- He/Ar/Ne/Xe -X | O2 | ＜3 | ＜1 |
N2 | ＜1 | ＜1 | |
H2 | ＜1 | ＜1 | |
CO | ＜1 | ＜1 | |
CO2 | ＜1 | ＜1 | |
THC | ＜1 | ＜1 | |
H2O | ＜3 | ＜1 | |
PARTICLES | -- | ≤10pcs/m3, 0.003μm | |
Pressure Drop | ＜1bar | ||
Flow | 10～500Nm3/h | ||
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