粉体行业在线展览
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HON-He/Ar/Ne/Xe-SX/WX/VX系列惰性气体纯化器
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大连科立恩气体净化科技有限公司
辽宁
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科立恩
HON-He/Ar/Ne/Xe-SX/WX/VX系列惰性气体纯化器
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系列 Series | 杂质 Impurity | 入口 Inlet（ppm） | 出口 Outlet（ppb） |
HON- He/Ar/Ne/Xe -SX/WX/VX | O2 | ＜3 | ＜1 |
N2 | ＜1 | ＜1 | |
H2 | ＜1 | ＜1 | |
CO | ＜1 | ＜1 | |
CO2 | ＜1 | ＜1 | |
THC | ＜1 | ＜1 | |
H2O | ＜3 | ＜1 | |
PARTICLES | -- | ≤10pcs/m3, 0.003μm | |
Pressure Drop | ＜1bar | ||
Flow | 10～3000Nm3/h | ||
工艺介绍：
（1）先通过物理和化学吸附脱除O2、CO、CO2、H2O等杂质。
（2）通过吸气工序高温下进一步脱除O2、CO、CO2、H2O同时深度脱除CH4、N2。
（3）通过脱氢工序常温下深度脱除H2杂质。
（4）吸附反应器吸附饱和后可通氢加热再生，反复使用。
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