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陶瓷盘清洗机

陶瓷盘清洗机

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苏州辰轩光电科技有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

苏州辰轩

型号:

陶瓷盘清洗机

关注度:

459

产品介绍

|  应用领域
       应用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化镓(GaN)等半导体材料的刷洗,同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶等材料。

 

|  设备特点
✦ 陶瓷盘竖直清洗,可减少设备的占地面积。
✦ 采用超声波清洗,可较大限度避免损伤陶瓷盘面。
✦ 自动上/下料系统及12片容量的陶瓷盘推车,可提高效率减少人工。
✦ 搬移机械手单独上下移动,可增强陶瓷盘清洗效果。

 

|  设备参数

设备型号

CX-BE05

适应产品

陶瓷盘 Φ360mm

陶瓷盘 Φ485mm

洗槽数量

3槽

超声波洗槽数量

2槽

药液洗槽数量

1槽

洗槽循环流量

20L/min

洗槽材质

SUS316

连续作业时间

约3~4分钟/盘(具体视工艺而定)

设备尺寸

W4965mm * L2100mm * H2605mm

设备重量

约3000kg

瓷盘车容量

12片

自动上下瓷盘

水枪

1个

搬移机械手上下

伺服电机+滚珠丝杠+滚动导轨

搬移机械手左右

伺服电机+齿轮齿条+滚动导轨

进盘翻转机构

气缸

出盘翻转机构

减速电机

设备使用条件

电源

AC380, 50Hz,三相四线制

总容量

70kw

气源接口

3/4

进水接口

3/4

排水接口

1 +1/2

排气

正压排气5″


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