适用晶片

4 inch、6 inch

抛光机下盘

尺寸

Φ872mm

材质

不锈钢盘&抛光垫

电机功率

7kw

转速范围

5～200rpm

*小转速控制量

1rpm（触摸屏中设定）

冷却

水冷式冰水机（8P）

盘温控制

0℃～50℃

修盘方式

人工调节，伺服自动修盘

抛光机上盘

控制方式

2轴独立控制，自动停止加工

抛头材质

SUS410（可按客户要求定做）

加压气缸

Φ100mm

压力范围

0～500kg

控制精度

±1kgf（触摸屏中设定）

电机功率

0.75kw

转速范围

5～200rpm

*小转速控制量

1rpm（触摸屏中设定）

抛光液供应系统

供给方法

循环泵（流量可以调节并实时监控）

抛光液灌容量

20L（冷却、搅拌）

供液位置

中心供液

补液方式

人工补液

陶瓷盘固定

半自动上料装置，陶瓷盘定位载具

去除率

具体视工艺及材料而定

设备尺寸

W2200mm * L2250mm * H2100mm

设备重量

约5000Kg