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CMP化学机械抛光清洗机

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声达半导体设备(江苏)有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价:

面议

品牌:

江苏声达

型号:

CMP化学机械抛光清洗机

关注度:

201

产品介绍

适用工件:
(Applicable parts)
6"*1花篮,8"*1 pc花篮
6”*1 Cassette,8”*1 pc Cassette

批量产能:
(Capacity)

1 batch/10min
工艺流程:
(Procedure flow)
上料(手动)→超声药剂槽→QRD槽→超声碱洗槽→QDR槽→HF槽→QDR槽→下料(手动)
Load(Manual)→Ultrasonic Cleaning Agent Tank→QRD Tank→Ultrasonic Cleaning Agent Tank→QDR Tank→HF Tank →QDR Tank →Unload(Manual)
主要材料:
(Major material)
金属骨架SUS304+PP乳白板,槽体采用PPN+SUS316
(Metal frame SUS 304,Ice-Cream PP board,the tank uses PPN+SUS316)


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